Производитель: FEI Company (США)
Год ввода в эксплуатацию: 2006
Метрологическое сопровождение: Проходит ежегодную поверку
Система оснащена
- системой энергодисперсионного анализа (EDS) и анализа структуры и текстуры кристаллических материалов методом дифракции отраженных электронов (EBSD) PEGASUS
- рентгеновским детектором Sapphire со сверхультратонким окном
- системой подготовки образцов для просвечивающего микроскопа
- комплектом для осаждения платины Platinum Deposition (Pt)
- комплектом для выборочного травления углерода Selective Carbon Mill
- программным обеспечением AutoFIB
Электронная оптикa
- ускоряющее напряжение: 200—30000 V непрерывно
- разрешение: 3.5 nm при 30 kV в режиме ESEM, < 15 nm при 3 kV в режиме низкого вакуума
Ионная оптикa
- ускоряющее напряжение: 5—30000 V
- разрешение: 10.0 nm при 30 kV